16日至17日，第789次香山科學會議在蘇州舉行。本次會議為期兩天，以“信息器件原子級制造實驗裝置”關鍵科學技術問題為主題，會聚了物理、化學、材料、人工智能、精密儀器等多領域的專家學者，圍繞原子級制造核心科學與技術挑戰展開深入研討，旨在推動我國信息器件原子級制造相關科學研究。

香山科學會議是我國科技界以探索科學前沿、促進知識創新為主要目標的高層次、跨學科、小規模常設性學術會議。此次會議聚焦“信息器件原子級制造實驗裝置”。據悉，原子級制造是一種變革性制造技術，通過對原子的規模化精準操控，以能量作用于原子或原子級基元，制造出逼近理論極限性能的材料與器件。在集成電路等信息器件等領域，它將成為服務國家重大戰略、加快形成新質生產力的新動能。當前，國內外缺少針對原子級制造的系統性基礎設施，難以充分發揮其核心優勢。

信息器件原子級制造實驗裝置基于超高真空互聯技術，針對集成電路信息器件中原子級材料按需創制、原子級器件精準加工和原子級高時空分辨動態表征等關鍵科學問題，并圍繞AI賦能的原子級制造等議題深入討論，有助于推動原子級制造領域突破。

會議在蘇州召開，凸顯了蘇州在納米科技領域的創新實力。記者從活動中了解到，由中國科學院、江蘇省人民政府、蘇州市人民政府及蘇州工業園區四方共建的中國科學院蘇州納米所納米真空互聯實驗站（Nano-X），是目前全球規模最大、性能最優、共享程度最高的真空互聯綜合實驗裝置。它開創了材料與器件本征構效關系及其表界面科學研究的新范式，為國家戰略高科技及江蘇省、長三角區域產業發展提供了重要支撐。

該實驗站已實現50余臺大型設備通過227米超高真空管道互聯，建成了材料制備與工藝、微觀機理準原位分析、跨尺度性能測試、氣氛可控和真空互聯控制與對接系統等五大穩定高效運行的模塊平臺，形成全真空環境下的綜合實驗裝置，各系統均高效穩定運行。實驗站圍繞多個研究方向，聚焦納米科技共性難題，利用真空互聯技術開展科研攻關和對外服務，同時加強高端裝備自主研發，部分設備已打破國際壟斷。

實驗站面向全球開放，組建了200多人的高水平團隊，開展合作課題780個，服務超280家用戶，取得了一系列重要科研成果，申請核心專利380項，已授權106項，在多個領域具有國際影響力。去年，實驗裝置入選首批江蘇省重大科技基礎設施培育支持預研項目名單，其“十三五”科教基礎設施項目順利通過驗收。

中國科學院院士、納米真空互聯實驗站學術委員會主任遲力峰說，這一大型科學裝置將進一步聚焦提升原子操控規模化能力、強化精準控制水平，同時借助AI高效處理數據、優化工藝，以實現裝置性能質的飛躍。

駐園區首席記者 董捷

《蘇州日報》2025年08月19日A02版